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隨著科技的不斷進(jìn)步,微納制造技術(shù)在半導(dǎo)體、光電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的重要性日益凸顯。三維直寫(xiě)光刻機(jī)作為一種先進(jìn)的微納制造設(shè)備,憑借其高精度、高靈活性和無(wú)需掩模版的特點(diǎn),成為現(xiàn)代微納制造的關(guān)鍵技術(shù)之一。三維直寫(xiě)光刻機(jī)(3DDirectWriteLithography)是一種非接觸式光刻技術(shù),通過(guò)直接在光刻材料上寫(xiě)入圖案,而無(wú)需使用傳統(tǒng)的掩模版。其基本原理包括:1.光源:通常使用高能量激光作為光源,如紫外光(UV)或深紫外光(DUV),這些激光束可以精確地照射到光刻材料上。2.光學(xué)...
無(wú)掩膜直寫(xiě)光刻設(shè)備是一種強(qiáng)大的工具,它通過(guò)數(shù)字控制光束直接在基板上形成圖形,擺脫了對(duì)物理掩模版的依賴(lài),帶來(lái)了靈活性和設(shè)計(jì)迭代速度。無(wú)掩膜直寫(xiě)光刻的核心在于“直寫(xiě)”和“無(wú)掩膜”:?直寫(xiě):?聚焦的激光束、電子束或其他類(lèi)型的能量束(如離子束)直接在光刻膠表面移動(dòng)掃描,按照設(shè)計(jì)好的圖形圖案曝光光刻膠。?無(wú)掩模:?圖形的圖案信息以數(shù)字文件的形式存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中,并通過(guò)精確的空間光調(diào)制器或光束偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)控制光束的開(kāi)關(guān)和位置,代替了傳統(tǒng)的光學(xué)掩模版來(lái)定義圖形。目前主流的有兩種技術(shù)路線(xiàn):...
無(wú)掩膜光刻(MasklessLithography),也被稱(chēng)為直寫(xiě)光刻(Direct-WriteLithography),是一種不同于傳統(tǒng)光刻技術(shù)的先進(jìn)制造工藝。在傳統(tǒng)的光刻過(guò)程中,需要使用預(yù)先設(shè)計(jì)好的掩膜版來(lái)定義圖案,這些掩膜版成本較高且制作時(shí)間較長(zhǎng)。相比之下,無(wú)掩膜光刻直接通過(guò)計(jì)算機(jī)控制光束(如電子束、離子束或激光)在光敏材料(光刻膠)上繪制所需的微細(xì)圖案,無(wú)需使用物理掩膜版。無(wú)掩膜光刻的主要特點(diǎn):1、靈活性高:由于不需要物理掩膜,可以在短時(shí)間內(nèi)對(duì)圖案進(jìn)行修改和調(diào)整,特別...
光子引線(xiàn)鍵合(PhotonicsWireBonding)是一種先進(jìn)的集成光學(xué)技術(shù),旨在實(shí)現(xiàn)光子集成電路(PhotonicIntegratedCircuits,PICs)之間的高效連接。這項(xiàng)技術(shù)是傳統(tǒng)電子引線(xiàn)鍵合的一種光學(xué)類(lèi)比,但其目的是在保持或提高光學(xué)性能的同時(shí),提供靈活、緊湊的光路互連解決方案。光子引線(xiàn)鍵合通常涉及到使用一種特殊的聚合物材料或者通過(guò)直接寫(xiě)入的方式(比如利用飛秒激光直寫(xiě)技術(shù)),在兩個(gè)光子元件之間構(gòu)建出一條具有精確幾何形狀和折射率分布的波導(dǎo)路徑。這種路徑能夠有效...
三維激光直寫(xiě)系統(tǒng)是一種先進(jìn)的微納加工技術(shù),它利用高度聚焦的激光束在材料表面或內(nèi)部進(jìn)行精確的圖案化處理。這種技術(shù)能夠在不需要掩膜的情況下直接根據(jù)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)模型制造出復(fù)雜的三維微觀(guān)結(jié)構(gòu),因此在微電子學(xué)、光子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)工程、納米科技等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。工作原理三維激光直寫(xiě)系統(tǒng)通常使用飛秒激光器或皮秒激光器產(chǎn)生超短脈沖激光。這些激光脈沖具有高的峰值功率和非常短的作用時(shí)間,可以在不影響周?chē)牧系那闆r下實(shí)現(xiàn)對(duì)焦點(diǎn)處材料的精確改性或去除。通過(guò)精密控制激光束的位置和強(qiáng)度...
微納3D打印是一種先進(jìn)的制造技術(shù),它能夠在微米(百萬(wàn)分之一米)和納米(十億分之一米)尺度上創(chuàng)建復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)。這項(xiàng)技術(shù)結(jié)合了傳統(tǒng)的3D打印概念與微納加工技術(shù)的精度,使其在生物醫(yī)學(xué)、電子器件、光學(xué)元件等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。一、技術(shù)原理微納3D打印通常依賴(lài)于光聚合技術(shù),通過(guò)精確控制光源(如激光)來(lái)固化液態(tài)光敏聚合物(樹(shù)脂),從而逐層構(gòu)建出所需結(jié)構(gòu)。這種技術(shù)的一個(gè)關(guān)鍵特點(diǎn)是能夠?qū)崿F(xiàn)很高的分辨率,使得所打印結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)可以達(dá)到微米甚至納米級(jí)別。此外,還有一些基于電化學(xué)沉積、噴墨打印...
2025年3月31日,第二十屆中國(guó)國(guó)際科學(xué)儀器及實(shí)驗(yàn)室裝備展覽會(huì)于北京中國(guó)國(guó)際展覽會(huì)(順義館)盛大啟幕。作為推動(dòng)我國(guó)科學(xué)儀器及實(shí)驗(yàn)室裝備技術(shù)創(chuàng)新的重要展會(huì)之一,展會(huì)匯聚了1000多家展商,展示面積超4萬(wàn)平方米。魔技納米科技誠(chéng)邀您蒞臨E1館E190展位,共享實(shí)驗(yàn)室儀器裝備、光學(xué)儀器、生命科學(xué)儀器等專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域的前沿技術(shù),共探行業(yè)新發(fā)展。前沿三維微納制造技術(shù),彰顯國(guó)產(chǎn)化實(shí)力新高度魔技納米科技的研發(fā)團(tuán)隊(duì)擁有超過(guò)十年的微納三維制造技術(shù)經(jīng)驗(yàn),成功攻克了微納制造領(lǐng)域的三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)超高精度(≤...
2025年3月11日,第二十屆慕尼黑上海光博會(huì)(LASERCHINA2025)于上海新國(guó)際博覽中心榮耀啟幕。作為亞洲備受矚目的光電技術(shù)展,本屆盛會(huì)云集全球幾十個(gè)國(guó)家和地區(qū)逾千家企業(yè),共襄光電技術(shù)盛宴。魔技納米科技攜關(guān)鍵技術(shù)及裝備亮相N2-2436展位!魔技納米科技致力于為客戶(hù)提供三維微納制造領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)設(shè)備與整體解決方案,自主研發(fā)生產(chǎn)的三維微納加工/納米3D打印設(shè)備、超快激光微納加工中心及無(wú)掩膜直寫(xiě)光刻設(shè)備,將重新定義三維微納制造的產(chǎn)業(yè)邊界,構(gòu)建多維度、寬寫(xiě)場(chǎng)、跨尺度的納米級(jí)集...
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